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基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展

彭杰纲 周兆英 叶雄英

彭杰纲, 周兆英, 叶雄英. 基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展[J]. 力学进展, 2005, 35(3): 361-376. doi: 10.6052/1000-0992-2005-3-J2004-067
引用本文: 彭杰纲, 周兆英, 叶雄英. 基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展[J]. 力学进展, 2005, 35(3): 361-376. doi: 10.6052/1000-0992-2005-3-J2004-067
PROGRESSES ON MICROMACHINED FLOW SENSORS BASED ON MEMS TECHNOLOGIES[J]. Advances in Mechanics, 2005, 35(3): 361-376. doi: 10.6052/1000-0992-2005-3-J2004-067
Citation: PROGRESSES ON MICROMACHINED FLOW SENSORS BASED ON MEMS TECHNOLOGIES[J]. Advances in Mechanics, 2005, 35(3): 361-376. doi: 10.6052/1000-0992-2005-3-J2004-067

基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展

doi: 10.6052/1000-0992-2005-3-J2004-067

PROGRESSES ON MICROMACHINED FLOW SENSORS BASED ON MEMS TECHNOLOGIES

  • 摘要: 流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发, 微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向.本文对基于MEMS技术的流量传感器技术的原理、分类作了简要介绍,归纳和评述了各种基于MEMS技术的流量传感器(热式型,差压型,升力型,流体振动型, 科里奥利型及仿生型微型流量传感器等)的生产工艺和应用特点,并对基于MEMS技术的微型流量传感器的校正方法做了总结归纳.介绍了国内在微型流量传感器方面的研制工作.最后总结归纳出基于MEMS技术的流量传感器发展不同阶段并阐述了各个阶段的发展特点,并对基于MEMS技术的流量传感器新的发展趋势进行了展望.

     

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  • 刊出日期:  2005-08-25

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