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微机械陀螺的发展现状

李新刚,  袁建平

文章导航 > 力学进展  > 2003 >  33(3): 289-301
李新刚, 袁建平. 微机械陀螺的发展现状[J]. 力学进展, 2003, 33(3): 289-301. doi: 10.6052/1000-0992-2003-3-J2002-038
引用本文: 李新刚, 袁建平. 微机械陀螺的发展现状[J]. 力学进展, 2003, 33(3): 289-301. doi: 10.6052/1000-0992-2003-3-J2002-038
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微机械陀螺的发展现状

doi: 10.6052/1000-0992-2003-3-J2002-038

  • 西北工业大学航天工程学院

    摘要
  • 摘要: 随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题.微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点,其精度正不断得到提高,应用领域也随之不断扩大.本文首先简要介绍了微机械陀螺的定义及特征、性能指标、工作原理、分类以及加工技术,随后对已出现的不同类型微机械陀螺的结构、加工方式、工作原理以及性能进行了综述,最后对微机械陀螺的商业化现状以及发展趋势进行了展望.

     

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  • 刊出日期:  2003-08-25

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