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微尺度气体流动

樊菁 沈青

樊菁, 沈青. 微尺度气体流动[J]. 力学进展, 2002, 32(3): 321-336. doi: 10.6052/1000-0992-2002-3-J2002-009
引用本文: 樊菁, 沈青. 微尺度气体流动[J]. 力学进展, 2002, 32(3): 321-336. doi: 10.6052/1000-0992-2002-3-J2002-009
MICRO-SCALE GAS FLOWS[J]. Advances in Mechanics, 2002, 32(3): 321-336. doi: 10.6052/1000-0992-2002-3-J2002-009
Citation: MICRO-SCALE GAS FLOWS[J]. Advances in Mechanics, 2002, 32(3): 321-336. doi: 10.6052/1000-0992-2002-3-J2002-009

微尺度气体流动

doi: 10.6052/1000-0992-2002-3-J2002-009

MICRO-SCALE GAS FLOWS

  • 摘要: 了解微尺度气体流动特点是微机电系统设计和优化的基础.有关的研究可以上溯到20世纪初Knudsen的平面槽道流动质量流量的测量和Millikan的小球阻力系数的测量,实验结果揭示了稀薄气体效应即尺度效应对气体运动的重要影响.由于流动特征长度很小,微尺度气流经常处于滑流区甚至过渡领域,流动的相似参数为Knudsen数和Mach数.因此可以考虑利用相似准则,通过增大几何尺寸、减小压力的途径,解决微机电系统实验观测遇到的困难.为解决直接模拟Monte Carlo方法分析微机电系统中低速稀薄气流遇到的统计涨落困难,我们提出了信息保存法(IP),该方法能够有效克服统计散布,并已成功用于多种微尺度气流.

     

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  • 刊出日期:  2002-08-25

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