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微电子机械系统和流体流动

力学进展编辑部

力学进展编辑部. 微电子机械系统和流体流动[J]. 力学进展, 1998, 28(2): 250-272. doi: 10.6052/1000-0992-1998-2-J1998-139
引用本文: 力学进展编辑部. 微电子机械系统和流体流动[J]. 力学进展, 1998, 28(2): 250-272. doi: 10.6052/1000-0992-1998-2-J1998-139
MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)AND FLUID FLOWS[J]. Advances in Mechanics, 1998, 28(2): 250-272. doi: 10.6052/1000-0992-1998-2-J1998-139
Citation: MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)AND FLUID FLOWS[J]. Advances in Mechanics, 1998, 28(2): 250-272. doi: 10.6052/1000-0992-1998-2-J1998-139

微电子机械系统和流体流动

doi: 10.6052/1000-0992-1998-2-J1998-139

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)AND FLUID FLOWS

  • 摘要: 出现于80年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器.这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域.另一方面,由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大,在流体流经这些微小机械器件时,表面效应占据了主导地位.为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项.由于它们非常小,气体流动具有很大的Knudsen数,所以边界条件也应加以修正.总之,微电子机械系统(MEMS)不但是一项实用技术,也为流动机理的基础研究提出了许多挑战.

     

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  • 刊出日期:  1998-05-25

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